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罗茨滑阀真空机组

 

罗茨滑阀真空机组由罗茨真空泵与滑阀真空泵串联组成,滑阀真空泵作为预抽真空泵以及罗茨真空泵的前级真空泵使用,罗茨真空泵左右主抽真空泵。罗茨真空泵与滑阀真空泵抽速比大小选择的主要依据是真空机组长期工作的真空度,真空机组长期工作区间在低真空,宜选择较小的抽速比(2:1至4:1),如果真空机组长时间在高真空工作,则可选择较大的抽速比(4:1至10:1)

拓展真空生产地罗茨滑阀真空机组有以下特点:

1. 真空度高,中高真空区间抽气效率高,工作范围宽,节能效果显著。

2. 一体化机架,结构紧凑,占地面积小。

3. 自动化程度高,操作简单,维护方便,运行安全,可靠耐用。

4. 可以更具用户有具体需要,定制特殊的真空机组。

适用范围:

广泛应用于真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空滤油、多晶硅生产、航空航天模拟试验等领域。

单罗茨单级滑阀真空机组主要性能参数:

型号

主泵

 

前级泵

   抽气速率       (L/s)    

极限分压
(Pa)

极限全压
(Pa)

电机功率(kW)

进气口径(mm)

排气口径(mm)

JZH75-3 ZJ-75 H-25DVA 75 0.05 0.8 4.4、3.7 100 40
JZH110-4 ZJ-110 H-25DVA 110 0.05 0.8 4.4、3.7 100 40
JZH150-6 ZJ-150 H-25DVA 150

0.05

0.8 5.2、4.5 100 40
JZH220-4 ZJ-220 H-50DV 220 0.05 0.8 8、6 100 50
JZH220-3 ZJ-220 H-60DVA 220 0.05 0.8 8、7 100 50
JZH300-4 ZJ-300 H-70DV 300 0.05 0.8 9.5 150 63
JZH300-3 ZJ-300 H-100DV 300 0.05 0.8 11.5 150 63
JZH600-6 ZJ-600 H-100DV 600 0.05 0.8 15、13 200 63
JZH600-5 ZJ-600 H-120DV 600 0.05 0.8 15、13 200 63
JZH600-4 ZJ-600 H-150DV 600 0.05 0.8 18.5、16.5 200 80
JZH600-3.5 ZJ-600 H-160DV 600 0.05 0.8 18.5、16.5 200 80
JZH600-3 ZJ-600 H-220DV 600 0.05 0.8 22.5、20.5 200 100
JZH1200-8 ZJ-1200 H-150DV 1200 0.05 0.8 22 250 80
JZH1200-7.5 ZJ-1200 H-160DV 1200 0.05 0.8 22 250 80
JZH1200-5 ZJ-1200 H-220DV 1200 0.05 0.8 26 250 100
JZH1200-4 ZJ-1200 H-300DV 1200 0.05 0.8 33 250 100
JZH1800-8 ZJ-1800 H-220DV 1800 0.05 0.8 30 250 100
JZH1800-6 ZJ-1800 H-300DV 1800 0.05 0.8 37 250 100
JZH1800-3 ZJ-1800 H-600DV 1800 0.05 0.8 60 250 150
JZH2500-11 ZJ-2500 H-220DV 2500 0.05 0.8 37 300 100
JZH2500-8 ZJ-2500 H-300DV 2500 0.05 0.8 44 300 100
JZH2500-4 ZJ-2500 H-600DV 2500 0.05 0.8 67 300 150
JZH5000-8 ZJ-5000 H-600DV 5000 0.05 0.8 82 400 150

注:1、如果罗茨真空泵的电源频率为60Hz,真空机组的抽气速率将增加至原来的1.2倍.

        2、如果选用带旁通阀的ZJP型罗茨真空泵,机组的型号则变为JZPH,其他主要性能参数不变。

单罗茨双级滑阀真空机组主要性能参数:

 

型号

主泵

前级泵

抽气速率   (L/s)

极限分压    (Pa)

极限全压(Pa)

电机功率(kW)

进气口径
(mm)

排气口径(mm)

ZJ2H75-5 ZJ-75 2H-15DVA 75 0.02 0.5 4.4、3.7 100 40
ZJ2H110-7 ZJ-110 2H-15DVA 110 0.02 0.5 4.4、3.7 100 40
ZJ2H150-5 ZJ-150 2H-30DV 150 0.02 0.5 7、6 100 50
ZJ2H220-7 ZJ-220 2H-30DV 220 0.02 0.5 8、6 100 50
ZJ2H220-5 ZJ-220 2H-45DVA 220 0.02 0.5 8、7 100 50
ZJ2H220-4 ZJ-220 2H-50DV 220 0.02 0.5 9.5、8.5 100 63
ZJ2H300-6 ZJ-300 2H-50DV 300 0.02 0.5 9.5 150 63
ZJ2H300-4 ZJ-300 2H-70DV 300 0.02 0.5 11.5 150 63
ZJ2H600-8.5 ZJ-600 2H-70DV 600 0.02 0.5 15 200 63
ZJ2H600-7.5 ZJ-600 2H-80DV 600 0.02 0.5 15 200 63
ZJ2H600-6 ZJ-600 2H-120DV 600 0.02 0.5 18.5、16.5 200 80
ZJ2H600-5 ZJ-600 2H-120DV 600 0.02 0.5 18.5、16.5 200 80
ZJ2H1200-8 ZJ-1200 2H-150DV 1200 0.02 0.5 26 250 100
ZJ2H1200-5 ZJ-1200 2H-220DV 1200 0.02 0.5 33 250 100
ZJ2H1800-8 ZJ-1800 2H-220DV 1800 0.02 0.5 37 250 100
ZJ2H1800-4 ZJ-1800 2H-450DV 1800 0.02 0.5 60 250 150
ZJ2H2500-11 ZJ-2500 2H-220DV 2500 0.02 0.5 44、40.5 300 100
ZJ2H2500-5.5 ZJ-2500 2H-450DV 2500 0.02 0.5 67、63.5 300 150
ZJ2H5000-11 ZJ-5000 2H-450DV 5000 0.02 0.5 82 400 150


注:1、如果罗茨真空泵的电源频率为60Hz,真空机组的抽气速率将增加至原来的1.2倍。

        2、如果选用带旁通阀的ZJP型罗茨真空泵,机组的型号则变为JZP2H,其他的主要性能参数不变。



双罗茨单级滑阀真空机组主要性能参数:

 

型号

主泵

前级泵

中间泵

抽气速率(L/s)

极限分压(Pa)

极限全压(Pa)

电机功率
(kW)

进气口径(mm)

排气口径(mm)

J2ZH220-33 ZJ-220 H-25DVA ZJ-75 220 0.02 0.5 7.4 100 40
J2ZH300-43 ZJ-300 H-25DVA ZJ-75 300 0.02 0.5 8.4 150 40
J2ZH600-43 ZJ-600 H-50DV ZJ-150 600 0.02 0.5 14.5 200 50
J2ZH1200-53.5 ZJ-1200 H-60DVA ZJ-220 1200 0.02 0.5 18 250 50
J2ZH1200-53 ZJ-1200 H-70DV ZJ-220 1200 0.02 0.5 19.5 250 63
J2ZH1200-43 ZJ-1200 H-100DV ZJ-300 1200 0.02 0.5 22.5 250 63
J2ZH1200-42.5 ZJ-1200 H-120DV ZJ-300 1200 0.02 0.5 22.5 250 63
J2ZH1800-62.5 ZJ-1800 H-120DV ZJ-300 1800 0.02 0.5 26.5 250 63
J2ZH1800-34 ZJ-1800 H-150DV ZJ-600 1800 0.02 0.5 33.5 250 80
J2ZH1800-33.5 ZJ-1800 H-160DV ZJ-600 1800 0.02 0.5 33.5 250 80
J2ZH2500-44 ZJ-2500 H-150DV ZJ-600 2500 0.02 0.5 40.5 300 80
J2ZH2500-43.5 ZJ-2500 H-160DV ZJ-600 2500 0.02 0.5 40.5 300 80
J2ZH2500-43 ZJ-2500 H-220DV ZJ-600 2500 0.02 0.5 44.5 300 100
J2ZH5000-44 ZJ-5000 H-300DV ZJ-1200 5000 0.02 0.5 70 400 100
J2ZH5000-33 ZJ-5000 H-600DV ZJ-1800 5000 0.02 0.5 97 400 150


注:1、如果罗茨真空泵的电源频率为60Hz,真空机组的抽气速率将增加至原来的1.2倍。

        2、如果选用带旁通阀的ZJP型罗茨真空泵,机组型号则变为J2ZPH,其他主要性能参数不变。

 

双罗茨双级滑阀真空机组主要性能参数:

 

型号

主泵

中间泵

前级泵

抽气速率
(L/s)

极限分压
(Pa)

极限全压
(Pa)

电机功率(kW)

进气口径(mm)

排气口径
(mm)

J2Z2H220-35 ZJ-220 ZJ-75 2H-15DVA 220 0.01 0.3 8.4 100 40
J2Z2H300-42.5 ZJ-300 ZJ-75 2H-30DV 300 0.01 0.3 10.2 150 20
J2Z2H600-43.5 ZJ-600 ZJ-150 2H-45DVA 600 0.01 0.3 14.5 200 20
J2Z2H600-43 ZJ-600 ZJ-150 2H-50DV 600 0.01 0.3 14.5 200 20
J2Z2H1200-53 ZJ-1200 ZJ-220 2H-70DV 1200 0.01 0.3 22.5 250 63
J2Z2H1200-44 ZJ-1200 ZJ-300 2H-80DV 1200 0.01 0.3 22.5 250 63
J2Z2H1200-43 ZJ-1200 ZJ-300 2H-100DV 1200 0.01 0.3 26 250 80
J2Z2H1200-42.5 ZJ-1200 ZJ-300 2H-120DV 1200 0.01 0.3 26 250 80
J2Z2H1800-34 ZJ-1800 ZJ-600 2H-150DV 1800 0.01 0.3 37.5 250 100
J2Z2H1800-33.5 ZJ-1800 ZJ-600 2H-160DV 1800 0.01 0.3 37.5 250 100
J2Z2H1800-33 ZJ-1800 ZJ-600 2H-220DV 1800 0.01 0.3 44.5 250 100
J2Z2H1800-43.5 ZJ-2500 ZJ-600 2H-160DV 2500 0.01 0.3 44.5 300 100
J2Z2H2500-43 ZJ-2500 ZJ-600 2H-220DV 2500 0.01 0.3 51.5 300 100
J2Z2H5000-43 ZJ-5000 ZJ-1200 2H-450DV 5000 0.01 0.3 93 400 150


注:1、如果罗茨真空泵电源频率为60Hz,真空机组的抽气速率将增加至原来的1.2倍。

        2、如果选用带旁通阀的ZJP型罗茨真空泵,机组的型号则变为J2ZP2H,其他主要性能参数不变。



 

 
   
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